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這家成立不到4年的公司，造出了國產28納米光刻機？

2025/3/29 19:35:34      挖貝網 周路遙

半導體領域，當前最火的話題莫過于最近風頭大盛的新凱來（SiCarrier Technologies）了。

近期在上海舉行的SEMICON China 2025上，這家成立不到四年的公司，一口氣展出了30余款產品，包括： 

擴散裝備RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蝕產品ETCH（武夷山）；薄膜產品PVD（普陀山）、CVD（長白山(603099)）、ALD（阿里山）；光學檢測產品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬萊山PC、莫干山MBI；光學量測產品天門山IBO、天門山DBO；PX量測產品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率檢測產品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。 

從公開資料來看，這些設備的技術含量還相當高。

行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設備采用獨特的反應腔設計，能夠實現納米級薄膜均勻性控制，技術參數已接近國際領先水平。新一代涂膠顯影設備則突破國外技術壟斷，在分辨率和產能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。

另外，活動現場一名新凱來工作人員表示，其中一些設備（包括不在產品清單上的刻蝕設備）能夠支持5納米芯片的生產。

而且，這還不是最讓人震驚的，最讓人震驚的是，新凱來連光刻機都造。

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據多家外媒報道，新凱來已成功研發(fā)出適用于 300 毫米晶圓的 28nm 浸潤式光刻系統(tǒng)，其光源波長、套刻精度等核心技術參數達到國際同類產品水平。

這就好比一個4歲的小孩，突然跑過來告訴你，他18般武藝樣樣精通。而且更讓人震驚的是，他還掌握了至高心法——光刻機的制造。

新凱來是何方神圣？

羅馬不是一天建成的。能在這么短的時間內，取得這樣的成績，新凱來大概率大有來頭！

企查查顯示，新凱來成立于2021年8月，注冊資本15億元，由深圳市國資委全資控股。同時，新凱來在官網表示，公司核心團隊具備20年以上電子設備技術開發(fā)經驗，并聯合了眾多國內半導體制造設備和零部件合作伙伴，為國內半導體設備廠、FAB廠、電子電器設備廠、研究機構提供先進的解決方案，相關產品廣泛應用于國內頂級制造企業(yè)和研究、測試機構。

據日經亞洲報道，新凱來在深圳政府的支持下,一直在開發(fā)芯片制造設備,并將ASML,Applied Materials和Lam Research等公司的機器作為基準。

不過這依然不能解釋新凱來為什么能在4年內造出包括28納米光刻機在內的30余款先進半導體設備。芯辰大海在查閱資料時，看到了一些小道消息，當然這些消息不保真。

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其70%的核心研發(fā)團隊來自華為海思和2012實驗室，技術路線更延續(xù)了華為被制裁后啟動的“備胎計劃”。2022年，華為將半導體設備子公司剝離給深圳國資委，這場低調的資本騰挪，讓華為的技術火種在國資護航下涅槃重生。